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Tokyo Keiso VF3000流量傳感器：半導體制造流程的理想選擇

發布時間： 2025-05-09　　點擊次數： 341次

　　在半導體制造過程中，對超純水、水、低粘度藥液等的流量管理至關重要。為此，日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器，該產品以其結構簡單、清潔度高而著稱，非常適合用于這些精密流體的流量控制。

　　產品特點

　　VF3000流量傳感器采用PFA(全氟烷氧基樹脂)材質，這種材料以其優異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應用于半導體制造領域。傳感器的設計簡潔，易于清潔，有助于維持流體的超純度，避免污染。此外，VF3000還具有以下特點：

　　高清潔度：所有接觸流體的部分均采用PFA材質，確保了流體的純凈度。

　　寬流量范圍：能夠測量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量，適用于多種應用場景。

　　高可靠性：采用卡爾曼渦旋檢測方法，提高了測量的準確性和可靠性。

　　低壓降：設計優化，減少了流體通過時的壓力損失。

　　維護簡便：由于結構簡單，減少了維護需求。

　　技術規格

　　VF3000系列流量傳感器的技術規格如下：

　　測量流體：超純水、純水、水、低粘度化學品。

　　流體溫度：0 ~ 90°C。

　　流體壓力：0 ~ 0.5 兆帕。

　　流量范圍：根據型號不同，從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等。

　　精度：±3% F.S.。

　　材料：身體和管道采用新PFA，接頭可采用PFA或NewPFA，渦旋探測器采用壓電元件(用新PFA模制)。

　　過程連接：PFA管端或各種接頭，連接管尺寸根據型號不同而有所差異。

　　輸出：提供電流輸出、脈沖輸出和帶電流/報警輸出的顯示模式。

　　電源：直流10.8 ~ 26.4V、0.5 ~ 2W。

　　防護等級：IP64(JIS C0920 防睫毛結構)。

　　應用場景

　　VF3000系列流量傳感器適用于半導體制造過程中的超純水、水、低粘度藥液等的流量管理。此外，它還適用于需要高清潔度的其他工業應用，如制藥、食品加工等。

　　結論

　　Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度、寬流量范圍和高可靠性，成為半導體制造過程中理想的流量控制解決方案。其簡潔的設計和優異的性能使其在多種工業應用中都能發揮重要作用。

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