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日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列技術(shù)解析
發(fā)布時間： 2025-07-14 點擊次數(shù)： 212次日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列是一款高精度測量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。該設(shè)備通過顯微分光技術(shù)實現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試，具備快速測量、安全結(jié)構(gòu)及個性化定制等功能。OPTM系列顯微分光膜厚儀能夠測量絕對反射率、多層膜厚、折射率和消光系數(shù)，納米級測量，精度高。該設(shè)備采用分光干涉法，可進(jìn)行非破壞性和非接觸式厚度測量，測量速度可達(dá)1秒/點。
OPTM系列的技術(shù)特點包括非接觸、非破壞式測量，量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)，高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的絕對反射率，可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n：折射率、k：消光系數(shù))。單點對焦加量測在1秒內(nèi)完成，顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)，獨立測試頭對應(yīng)各種inline定制化需求，最小對應(yīng)spot約3μm。
此外，OPTM系列還具有技術(shù)，如反射對物鏡，可物理性去除透明基板的里面反射，實現(xiàn)高精度測定。3微米微區(qū)測量功能，通過軟件同時顯示樣品畫面和測定光采取部位，可很好確認(rèn)到測定點。自動高精度mapping樣品臺，標(biāo)配XY自動平臺，僅需輸入坐標(biāo)即可自動多點檢測大面積樣品，實時獲取厚度分布圖。
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