-
日本 Sinto 新東納米級高度測量儀 PHM-400：助力半導體部件質量把控
發布時間： 2025-08-01 點擊次數： 308次在半導體制造領域，高精度的部件檢測是確保產品質量的關鍵環節。日本 Sinto 新東推出的 PHM-400 納米級高度測量儀，憑借其先進的非接觸式測量技術和高精度檢測能力，為半導體部件的質量把控提供了有力支持。高精度非接觸式測量
PHM-400 集成了三維形貌傳感器與膜厚傳感器，通過算法綜合計算出實際加工后的部件高度。即使隔著如干膜光刻膠（Dry Film Resist, DFR）等保護膜，也能實現 ±0.1 微米（μm）以下的亞微米級精度測量。這一技術突破解決了傳統測量方法中需要手動揭膜和重新貼附的繁瑣步驟，顯著減少了人工操作，提升了測量效率和產品良率。應對高密度化制造需求
隨著邏輯芯片及高性能存儲器不斷向 3 納米制程推進，半導體制造設備零部件的表面加工精度要求越來越高。PHM-400 的推出，滿足了對氣體流動通道、靜電卡盤等部件溝槽深度和微結構細節的高精度控制需求。該設備已實現與現有加工線的兼容設計，適合導入中設備零部件生產線，幫助客戶實現非破壞、非接觸式在線測量。廣泛應用場景與定制化開發
PHM-400 不僅適用于溝槽與壓花等前段加工工序，還可在半導體封裝工程中的高度測量等其他領域應用。未來，該設備有望被應用于高密度封裝（HDI）、MEMS 傳感器、先進封裝（如 Fan-Out）等多種精密制造場景。此外，PHM-400 支持半定制化開發，能根據客戶不同生產線的規格要求進行調整，提升整體引入的靈活性與經濟性。日本 Sinto 新東的 PHM-400 納米級高度測量儀憑借其高精度、非接觸式測量技術，為半導體部件的質量把控提供了高效、可靠的解決方案，助力半導體制造行業邁向更高精度的未來。
產品中心
Products
-
農用機械
-
質構儀
-
糖度計
-
測試儀
-
氣泵
-
成分分析儀
-
分析儀器
-
試驗機
-
檢查燈
-
研磨介質球
-
光學儀器
-
檢驗儀
-
鑒別儀
-
濃度計
-
涂布機
-
超聲波均質機
-
傳感器
-
壓力表
-
位儀計
-
露點儀
-
數字水平儀
-
水分計
-
溫度計
-
厚度計
-
光度計
-
焊接機
-
切割機
-
應力儀
-
水平儀
-
均質機
-
診斷儀
-
控制器
-
馬達
-
去除機
-
零件進料器
-
研磨計
-
真空計
-
球閥
-
點膠機
-
粘度計
-
過濾器
-
照度計
-
點焊機
-
混合機
-
伊原電子密度計
-
塑料粒子色選機
-
臭氧儀
-
質量計
-
錘磨機
-
密度計
-
張力計
-
監測儀
-
比色計
-
電導率儀
-
冷卻器
-
離子計
-
粉碎設備
-
耗材/配件
-
傳熱設備
-
測量/計量儀器
-
大米樣品保存箱
-
研究用小型色選機
-
光源
-
陶瓷材料
-
水質檢測設備
-
物性檢測設備
-
氣體檢測儀
-
茶葉生產線
-
日本進口
-
行業專用儀器
-
電氣設備
-
加熱裝置
-
水產設備
