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日本hamai高純度氣體兼容容器閥

更新日期：2024-05-12

訪問(wèn)量：983

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：

日本hamai高純度氣體兼容容器閥
高純度氣體兼容容器閥
與高純度氣體兼容的高性能容器閥，用于半導(dǎo)體制造等

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產(chǎn)品介紹

日本hamai高純度氣體兼容容器閥

高純度氣體兼容容器閥

與高純度氣體兼容的高性能容器閥，用于半導(dǎo)體制造等

一種高純度氣體的容器閥，與半導(dǎo)體制造中使用的高純度氮?dú)猓呒兌妊鯕夂鸵夯奔嫒荨?/font>根據(jù)氣體的種類，我們有各種車身材料（如黃銅和不銹鋼）以及各種各樣的結(jié)構(gòu)（如背板類型和隔膜類型）的產(chǎn)品陣容。

G-12型銅后座閥

[功能]高純度氣體用黃銅后座閥，閥體采用C3771材料。通過(guò)*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的雙O形圈結(jié)構(gòu)追求更高的氣密性。

[規(guī)格]
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃

G-55L型黃銅隔膜閥

[特征]銅制隔膜閥，通過(guò)研磨膜片和非油脂規(guī)格，可支撐更高純度的氣體。通過(guò)采用與SUS-55LN型相同的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)高耐用性。雙O形圈結(jié)構(gòu)是疏散的理想選擇。

[規(guī)格]
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃

SUS-12型不銹鋼隔膜閥

[特點(diǎn)]高純度氣體用不銹鋼后座閥，具有與銅G-12型相同的結(jié)構(gòu)，并使用SUS316L，對(duì)閥體具有優(yōu)異的耐腐蝕性。諸如Teflon和雙O形圈的密封填料可保持較高的氣密性。

[規(guī)格]
，不銹鋼
-flammable
，不易燃
，助燃

?氣體快速逸出，可以縮短檢查周期
?搜索氣體的改變是一觸式
⇒使用大氣氮?dú)鈾z查泄漏和總泄漏量后，
　氬氣可以通過(guò)切換到模式來(lái)確定泄漏位置。

無(wú)需高級(jí)技能

-由于沒(méi)有吸收或滲透到彈性體中，因此可以進(jìn)行可靠的泄漏檢測(cè)。

可以準(zhǔn)確定量泄

當(dāng)排出各種氣體時(shí)，每種氣體都會(huì)發(fā)出自己*的光。通過(guò)測(cè)量這些光的每個(gè)波長(zhǎng)的光譜強(qiáng)度，可以測(cè)量各種氣體的分壓。從該分壓計(jì)算出每種氣體的泄漏量。
由于它可以測(cè)量光線，因此甚至可以很容易地測(cè)量低真空。
（右圖是各種氣體的發(fā)射顏色的示例。）

發(fā)射光譜1.png

進(jìn)入

右圖是確認(rèn)使用已知電導(dǎo)率的元件在大氣壓空氣下進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)后，使用氬氣測(cè)量泄漏量的精度的圖表。通過(guò)在大氣中校準(zhǔn)一次，可以準(zhǔn)確測(cè)量高達(dá)10-8 Pa·m3 / s的氣體，而與氮?dú)夂蜌鍤獾?/font>氣體類型無(wú)關(guān)。

SLD氬氣敏感性特征圖.png

進(jìn)入

物品	規(guī)格值
可檢測(cè)泄漏量	10 ^-2至10 ^-8 Pa ? m ³ / s
工作壓力	約50Pa
搜索氣	氬氣，空氣（N 2）等
分析方法	光學(xué)的
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)器	標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件
顯示/操作單元	手持式帶圖形顯示

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