日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器UCS-m系列
日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器UCS-m系列
金屬氣體過濾器
全部采用SUS316L材質制造，緊湊式設計、高過濾精度、耐高溫（460℃）用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。
- UCD系列： 圓盤狀部件過濾精度0.003μm 推薦流量10～100L/min
- RGF系列： 管狀部件 過濾精度0.1～10μm 推薦流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15～250L/min
高過濾精度全金屬氣體過濾器 UCS-m系列
- 全部材質采用SUS316L不銹鋼
- 高清浄度：全部產品在交付前經過內部特殊洗凈，通入高純度氮氣的同時進行高溫烘烤處理。
- 高流量、高壓差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
- 高內熱性 460℃
- 具備10?/min的小流量到250?/min的中流量各種型號。
- 低壓力損失:和以往的金屬過濾器相比，壓力損失非常低，體積小巧但能夠處理高流量氣體。
| 過濾精度 | 0.003μm | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 10M…15?/min、13M…60?/min、19M…120?/min、24M…250?/min | |
| 設計壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據日本國內的高壓氣體保安法，使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品，請詢問我們。 |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 容許差壓 | 15MPa(2,175PSIG) at20℃ | |
| 使用溫度 | 460℃（惰性氣體） | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構成材料 | 外罩：SUS316L（電解研磨處理） 元素：SUS316L 內表面粗糙度：Rmax0.5μm以下 | |
| 標準規格 | 烘烤、純水特殊洗凈（過濾器內部） | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
